隨著科學(xué)技術(shù)的突飛猛進(jìn)，半導(dǎo)體制造技術(shù)面臨日新月異的變化，對氣體的需求無論是在種類上還是品質(zhì)上都不斷提高。晶圓制造廠被國外列為“極高風(fēng)險”的行業(yè)，因為在其制造過程中要使用到大量的高毒性、腐蝕性或易燃易爆性等工藝氣體。特殊氣體品質(zhì)及安全管理問題日顯突出。因此本論文以N。0及Sill。兩個氣體供應(yīng)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，分別進(jìn)行了氣體供應(yīng)系統(tǒng)品質(zhì)及安全問題的研究。
本文首先簡單介紹了本研究工作的意義、‘現(xiàn)狀、工作內(nèi)容。