本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了低壓化學(xué)氣相淀積(LPCVD)設(shè)備的技術(shù)術(shù)語(yǔ)及薄膜厚度（以下簡(jiǎn)稱(chēng)膜厚）均勻性的計(jì)算公式、產(chǎn)品分類(lèi)、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及包裝、運(yùn)輸、貯存等方面的要求。