本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了四探針探頭（以下簡稱探頭）的術(shù)語、技術(shù)要求、測試方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存要求等。本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子和冶金等行業(yè)所使用的四探針法測試半導(dǎo)體棒、片、薄層以及金屬薄層的電阻率、薄層電阻的電陰的探頭。本標(biāo)準(zhǔn)與SJ/T 10314《直流四探針電阻率測試儀通用技術(shù)條件》標(biāo)準(zhǔn)配套使用。