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MEMS 慣性器件芯片在片測試技術要求

標 準 號： SJ 21262-2018
替代情況：
發(fā)布單位： 國家國防科技工業(yè)局
起草單位： 中國電子科技集團公司第十三研究所
發(fā)布日期： 2018-01-18
實施日期： 2018-05-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2022年09月17日
內容摘要

本標準規(guī)定了MEMS慣性器件敏感芯片電參數(shù)在片測試的人員、環(huán)境、安全、設備和儀器的一般要求，以及測試流程、測試準備、測試系統(tǒng)連接、參數(shù)測試等詳細要求。


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