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MEMS 加速度傳感器參數(shù)標(biāo)定工藝技術(shù)要求

標(biāo) 準(zhǔn) 號： SJ 21263-2018
替代情況：
發(fā)布單位： 國家國防科技工業(yè)局
起草單位： 中國電子科技集團公司第十三研究所
發(fā)布日期： 2018-01-18
實施日期： 2018-05-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2022年09月17日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了MEM加速度傳感器制造過程中的人員、環(huán)境、安全、設(shè)備和儀器的一般要求，以及工藝流程、工藝準(zhǔn)備和參數(shù)標(biāo)定的詳細要求。


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