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MEMS 慣性器件結(jié)構(gòu)設(shè)計要求

標(biāo) 準(zhǔn) 號: SJ 21261-2018
替代情況:
發(fā)布單位: 國家國防科技工業(yè)局
起草單位: 中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所
發(fā)布日期: 2018-01-18
實施日期: 2018-05-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2022年09月17日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了MEMS慣性器件敏感結(jié)構(gòu)的設(shè)計要求。


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