1.先送水源,檢查水源是否暢通,水壓р﹥0.lMPa,否則不準開爐。
　　
　　2.合上總電源,再合上操作電源。
　　
　　1.開機械泵,分別打開1號、2號閘門。
　　
　　2.合上真空計總電源,接通熱電偶電源,調(diào)整好加熱電流(電流調(diào)為128A)測量真空度。
　　
　　電流為22mA時真空度為10-1Torr(13.3Pa);
　　
　　電流為84mA時真空度為10-2Torr(1.33Pa);
　　
　　電流為98mA時真空度為10-3Torr(0.133Pa)；
　　
　　電流為10OmA時真空度為10-4Torr(0.0133Pa)。
　　
　　5.真空度高于1.33Pa以后,打開3號真空閥,使擴散泵內(nèi)的真空度也達到1.33Pa以上。
　　
　　6.擴散泵送電加熱,約40min以后,泵油加熱蒸發(fā),這時關(guān)閉2號真空閥,然后再打開高真空閥。
　　
　　7.真空度高于0.133Pa后關(guān)閉“熱電偶電源”,打開“電離計電源”,用電離計測量真空度。
　　
　　8.把電子電位差計的定針調(diào)到要求的溫度值,把“PID”調(diào)整到規(guī)定的比例帶和積分、微分時間(比例帶為40%～150%,積分時間為6～2.5min,微分時間為5～4min)
　　
　　9.把電路電源“手動給定”旋鈕調(diào)到最小,開關(guān)打到“自動”位置,把“PID”調(diào)節(jié)器的“手動”調(diào)到最小,開關(guān)打到“手動”位置,并接通“PID”電源。
　　
　　10.電爐送電,調(diào)整“PID”的“手動”,使三相電流表的輸出指示基本均衡在30～70A。
　　
　　11.待爐溫接近給定值時,把“PID”的爐溫控制從“手動”打到“自動”以便進行自動控制。
　　
　　12.保溫時間滿足要求后,如工藝要求隨爐冷卻,可關(guān)閉電爐電源。如工藝要求控制冷卻,即把“PID”由“自動”打到“手動”,靠“手動”調(diào)節(jié)冷卻。
　　
　　13.350℃以上不準關(guān)閉水源和真空系統(tǒng),關(guān)閉擴散泵時,必須首先關(guān)閉高真空閥,然后關(guān)閉3號真空閥,打開2號真空閥。
　　
　　14.關(guān)閉機械泵時,先關(guān)閉2號真空閥,再關(guān)閉電源。
　　
　　15.爐溫高于150℃時,不準放氣和打開爐蓋。
　　
　　16.工作過程中一定要嚴格遵守上述安全技術(shù)操作規(guī)程,不準脫離崗位,經(jīng)常注意檢查水源、儀器、真空度、電機、變壓器、風(fēng)扇、電表等運行是否正常,發(fā)現(xiàn)異常,及時報告處理。