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本文件規(guī)定了評(píng)定潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中設(shè)備和材料的適用性要求,提供了指南。 本文件不適用于以下內(nèi)容:健康和安全要求,清潔劑及清潔技術(shù)的相容性,清潔性,生物污染,工藝和產(chǎn)品對(duì)設(shè)備和材料的特定要求,設(shè)備的設(shè)計(jì)細(xì)節(jié)。