本文件依據(jù)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境空氣中具體化學(xué)物質(zhì)(種、組或類)的濃度,對空氣化學(xué)污染進行分級。同時,本文件分級技術(shù)要求,給出了包括檢測方法、分析方法和時間加權(quán)系數(shù)在內(nèi)的規(guī)程。
本文件目前只考慮潔凈室運行工況下空氣中100g/m3~10-12g/m3的化學(xué)污染物濃度。
本文件不涉及那些空氣中雖有化學(xué)物質(zhì)存在、但不認(rèn)為對產(chǎn)品或工藝有危害風(fēng)險的行業(yè)、工藝和生產(chǎn)。
本文件無意探討空氣化學(xué)污染物的特性。
本文件不包含對表面化學(xué)污染的分級。