本標準規(guī)定了采用體硅壓阻工藝進行MEMS器件加工時應遵循的工藝要求和質量檢驗要求。? ?
本標準適用于硅基MEMS制造技術中基于背腔腐蝕和硅?玻璃鍵合的體硅壓阻加工工藝的加工和質量檢驗。
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