本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了TDR系列單晶生長爐的術(shù)語和定義、產(chǎn)品分類、基本要求、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運輸、貯存、訂購與供貨、質(zhì)量承若。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于直拉法單晶生長爐（以下簡稱“單晶爐”）。