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集成電路用高純鈦濺射靶材

標 準 號： T/ZZB 0093-2016
替代情況：
發(fā)布單位： 浙江省浙江制造品牌建設促進會
起草單位： 寧波創(chuàng)潤新材料有限公司;寧波江豐電子材料股份有限公司
發(fā)布日期： 2016-09-30
實施日期： 2016-10-31
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更新日期： 2024年12月23日
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內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了集成電路用高純鈦濺射靶材的術語、定義、基本要求、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標志、包裝、運輸、貯存及質(zhì)量承諾和服務保證。
本標準適用于集成電路中制造電子薄膜用的各類鈦濺射靶材。

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