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本標準規(guī)定了多晶硅用高純石英制品中鋁、鈣、鉀、鈉、銅、鎂、磷、砷、鋅、鎳、硼含量的測定方法。 本標準適用于多晶硅用高純石英制品中鋁、鈣、鉀、鈉、銅、鎂、磷、砷、鋅、鎳、硼含量的測定。