本標準規(guī)定了高純四氯化鍺中銅、錳、鉻、鈷、鎳、釩、鋅、鉛、鐵、鎂、銦和砷元素含量的測定方法。
本標準適用于高純四氯化鍺中銅、錳、鉻、鈷、鎳、釩、鋅、鉛、鐵、鎂、銦和砷元素含量的測定，各元素的測定范圍（質量分數）為1×10-9%～2×10-5%，其中鐵為動態(tài)反應池模式測定。