本標準規(guī)定了硅單晶拋光片（簡稱硅拋光片）的牌號及分類、要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存、質量證明書和訂貨單（或合同）內(nèi)容。
本標準適用于直拉法、懸浮區(qū)熔法（包括中子嬗變摻雜和氣相摻雜）制備的直徑不大于200mm的硅單晶拋光片。產(chǎn)品主要用于制作集成電路、分立元件、功率器件等，或作為硅外延片的襯底。