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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅單晶切割片和研磨片(簡稱硅片)的牌號及分類、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、質(zhì)量證明書和訂貨單(或合同)內(nèi)容。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于由直拉法、懸浮區(qū)熔法(包括中子嬗變摻雜和氣相摻雜)制備的直徑不大于200mm的圓形硅單晶切割片和研磨片。產(chǎn)品主要用于制作晶體管、整流器件等,或進(jìn)一步加工成拋光片。