產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS） 表面結(jié)構(gòu) 區(qū)域法 第603部分：非接觸（相移干涉顯微）式儀器的標(biāo)稱特性
標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 33523.603-2022
發(fā)布單位： 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 清華大學(xué)、山東大學(xué)、深圳市中圖儀器股份有限公司 等
發(fā)布日期： 2022-12-30
實(shí)施日期： 2023-04-01
