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產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS） 表面結(jié)構(gòu) 區(qū)域法 第604部分：非接觸（相干掃描干涉）式儀器的標(biāo)稱特性

標(biāo) 準(zhǔn) 號： GB/T 33523.604-2022
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位： 清華大學(xué)、天津大學(xué)、廈門市計量檢定測試院、江蘇銳精光電研究院有限公司
發(fā)布日期： 2022-12-30
實施日期： 2023-04-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2023年04月05日
內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了用于表面高度三維映射的相干掃描干涉(CSI)測量系統(tǒng)的計量特性。

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