本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了基于光學(xué)干涉顯微鏡獲取的微懸臂梁結(jié)構(gòu)表面形貌進(jìn)行應(yīng)變梯度測量的方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于表面反射率不低于4%且使用光學(xué)干涉顯微鏡能夠獲取表面形貌的微懸臂梁結(jié)構(gòu)。