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本標準規(guī)定了四種常用的四極質譜檢漏方法實施的一般要求,每種檢漏方法在應用對象、系統(tǒng)組成、檢漏程序等方面的要求以及對檢漏文件的要求。 本標準適用于真空行業(yè)以及其他行業(yè)中采用四極質譜儀進行的泄漏檢測工作,適用于部組件級、分系統(tǒng)級以及系統(tǒng)級產(chǎn)品的密封性能測試。