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半導(dǎo)體器件 微電子機械器件 第5部分:射頻MEMS開關(guān)

標(biāo) 準(zhǔn) 號: GB/T 42709.5-2023
替代情況:
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位: 北京大學(xué)、北京必創(chuàng)科技股份有限公司、河北美泰電子科技有限公司
發(fā)布日期: 2023-05-23
實施日期: 2023-09-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2023年11月05日
內(nèi)容摘要

本文件界定了用于評估和確定射頻MEMS開關(guān)的基本額定值和特性的術(shù)語、定義和符號,描述了參數(shù)測試方法。本文件適用于各種類型的射頻MEMS開關(guān),射頻MEMS開關(guān)的一般說明見附錄A。按接觸方式分類,包括直流觸點型開關(guān)和電容觸點型開關(guān);按結(jié)構(gòu)分類,包括串聯(lián)開關(guān)和并聯(lián)開關(guān),射頻MEMS開關(guān)的幾何結(jié)構(gòu)說明見附錄B;按開關(guān)網(wǎng)絡(luò)分類,包括單刀單擲開關(guān)、單刀雙擲開關(guān)和雙刀雙擲開關(guān)等;按驅(qū)動方式分類,包括靜電驅(qū)動開關(guān)、熱電驅(qū)動開關(guān)、電磁驅(qū)動開關(guān)和壓電驅(qū)動開關(guān)等。射頻MEMS開關(guān)在多頻帶或多模式移動電話、智能雷達系統(tǒng)、可重構(gòu)射頻器件和系統(tǒng)、SDR(軟件無線電)電話、測試設(shè)備、可調(diào)諧器件和系統(tǒng)、衛(wèi)星等方面應(yīng)用廣泛,射頻MEMS開關(guān)的應(yīng)用說明見附錄E。

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