本文件規(guī)定了功率器件用Φ150mm n 型碳化硅（SiC）襯底的術(shù)語、要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存。適用于經(jīng)拋光后制備的Φ150mm n 型 SiC 襯底，晶型為 4H。