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半導(dǎo)體分立器件統(tǒng)計(jì)過程控制技術(shù)實(shí)施指南

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： SJ/Z 21580-2020
替代情況：
發(fā)布單位： 國(guó)家國(guó)防科技工業(yè)局
起草單位： 工業(yè)和信息化部電子第四研究院 等
發(fā)布日期： 2020-06-03
實(shí)施日期： 2020-08-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2022年10月11日
內(nèi)容摘要

本指導(dǎo)性技術(shù)文件規(guī)定了半導(dǎo)體分立器件工藝制造過程實(shí)施統(tǒng)計(jì)過程控制(SPC)技術(shù)的方法、主要步驟和相關(guān)技術(shù)的應(yīng)用。


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