本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了MEM陀螺儀制造過程中的人員、環(huán)境、安全、設(shè)備和儀器的一般要求，以及工藝流程、工藝準(zhǔn)備和參數(shù)標(biāo)定的詳細(xì)要求。