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高純四氯化硅中痕量磷的分光光度比色測試方法
標 準 號：
SJ 2595-1985
替代情況：
發(fā)布單位：
中華人民共和國電子工業(yè)部
起草單位：
—
發(fā)布日期：
1985-07-31
實施日期：
1984-01-01
點 擊 數：
更新日期：
2022年06月21日
內容摘要
本方法適用于生長半導體器件及電路用硅外延片、多晶硅和光通訊器件用光纖予制件的高純四氯化硅中磷含量的測試方法。
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高純四氧化硅
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電子設備用穩(wěn)壓變壓器總技術條件
如需幫助，請聯系我們。聯系電話400-6018-655。
Tag:
安全標準
.
四氯化硅
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