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YL-1型MOCVD設備完好要求和檢查評定方法

標 準 號： SJ/T 31126-1994
替代情況：
發(fā)布單位： 電子工業(yè)部
起草單位： 電子工業(yè)部第13所
發(fā)布日期： 1994-04-15
實施日期： 1994-06-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2021年09月13日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了金屬有機化合物化學汽相淀積設備(簡稱MOCVD設備)的完好要求和檢查、評定方法。

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