本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了碳化硅單晶拋光片表面質(zhì)量的目視檢驗(yàn)方法，觀察樣品表面的六方孔洞、劃痕、凹坑、顆粒、沾污、亮點(diǎn)缺陷、裂紋、崩邊的數(shù)量并用鋼板尺測量劃痕的總長度等。