本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用四氯化硅的技術(shù)要求、檢驗(yàn)規(guī)則、試驗(yàn)方法、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、儲(chǔ)存及安全的要求。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于工業(yè)四氯化硅精制提純后的電子工業(yè)用四氯化硅。