本規(guī)范規(guī)定了臥式液相外延系統(tǒng)的術語、產品型號及命名方法、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、運輸、貯存。本規(guī)范適用于電子行業(yè)光電子器件研制、生產工藝中的臥式液相外延系統(tǒng)。其他行業(yè)的類似設備亦可參照執(zhí)行。