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MEMS電場(chǎng)傳感器通用技術(shù)條件

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): GB/T 35086-2018
替代情況:
發(fā)布單位: 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局、中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位: 中國(guó)科學(xué)院電子學(xué)研究所、中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心、西安西谷微電子有限責(zé)任公司
發(fā)布日期: 2018-05-14
實(shí)施日期: 2018-12-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2019年01月04日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了MEMS電場(chǎng)傳感器(以下簡(jiǎn)稱“傳感器”)的原材料、結(jié)構(gòu)組成、技術(shù)要求、試驗(yàn)項(xiàng)目和方法、檢驗(yàn)規(guī)則、包裝、存儲(chǔ)和運(yùn)輸。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于MEMS電場(chǎng)傳感器的研制、生產(chǎn)和采購(gòu)。其他類型的電場(chǎng)傳感器可參照使用。

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