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光伏電池用硅材料中p、as、sb施主雜質(zhì)含量的二次離子質(zhì)譜測(cè)量方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): GB/T 29852-2013
替代情況:
發(fā)布單位: 國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局
起草單位: 信息產(chǎn)業(yè)專(zhuān)用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心
發(fā)布日期: 2013-11-12
實(shí)施日期: 2014-04-15
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2018年09月17日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用二次離子質(zhì)譜儀(SIMS)測(cè)定光伏電池用硅材料中磷、砷和銻含量的方法,本標(biāo)準(zhǔn)適用于光伏電池用硅材料中施主雜質(zhì)磷、砷和銻含量的定量分析,其中磷、砷和銻的濃度均大于1×10(14)atoms/cm3。

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