本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了集成電路用石英舟的術(shù)語(yǔ)和定義、分類和標(biāo)記、材料、要求、試驗(yàn)方法、標(biāo)志、清洗、包裝、運(yùn)輸和貯存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于集成電路制造工藝用8英寸及以下的石英舟制品，包含立式石英舟及臥式石英舟。