本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了為保證半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)施與用于生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的設(shè)備能一起可靠運(yùn)行的電磁兼容性(EMC)要求。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的設(shè)施和設(shè)備,這些設(shè)施和設(shè)備涵蓋所有的設(shè)施警報(bào)、安全、通信與控制系統(tǒng)、工藝設(shè)備、測(cè)量設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備以及信息技術(shù)設(shè)備。
本標(biāo)準(zhǔn)不適用于集成電路的封裝與功能測(cè)試所采用的設(shè)備和設(shè)施,也不適用于可能在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的靜電。
電化學(xué)儲(chǔ)能電站接入電網(wǎng)技術(shù)規(guī)定電力系統(tǒng)配置電化學(xué)儲(chǔ)能電站規(guī)劃導(dǎo)則電化學(xué)儲(chǔ)能電站接入電網(wǎng)測(cè)試規(guī)程智能電化學(xué)儲(chǔ)能電站技術(shù)導(dǎo)則小水電機(jī)組監(jiān)控保護(hù)直流系統(tǒng)運(yùn)行及檢…地?zé)岚l(fā)電機(jī)組術(shù)語(yǔ)彩色鍍膜光伏組件技術(shù)要求硅基薄膜異質(zhì)結(jié)光伏組件技術(shù)要求
電業(yè)安全工作規(guī)程（發(fā)電廠(chǎng)和變電所電…電力生產(chǎn)企業(yè)安全設(shè)施規(guī)范手冊(cè)電力建設(shè)安全工作規(guī)程第1部分：火力…電業(yè)安全工作規(guī)程（電力線(xiàn)路部分）火力發(fā)電廠(chǎng)設(shè)計(jì)技術(shù)規(guī)程工業(yè)企業(yè)照明設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)【作廢】《建筑照明設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》條文說(shuō)明農(nóng)村安全用電規(guī)程【作廢】
