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表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜 強度標(biāo)的重復(fù)性和一致性

標(biāo) 準(zhǔn) 號: GB/T 29558-2013
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局、中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位: 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)物理系
發(fā)布日期: 2013-07-19
實施日期: 2014-03-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2017年02月15日
內(nèi)容摘要

針對于常規(guī)分析使用的電子槍能量至少為2keV 的俄歇電子能譜儀,本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了一種評估其強度標(biāo)的重復(fù)性和恒定性的方法。它僅適用于配備了濺射清潔用離子槍的儀器。本標(biāo)準(zhǔn)并非旨在成為一種強度/能量響應(yīng)函數(shù)的校準(zhǔn),這種校準(zhǔn)可由儀器廠商或者其他機構(gòu)制定。本方法提供數(shù)據(jù)以評估和確認儀器使用中強度/能量響應(yīng)函數(shù)保持恒定的精度,對可影響這種恒定性的一些儀器設(shè)置給出了指導(dǎo)。

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