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1 總則 2 術語 3 特總氣體站房 4 特種氣體工藝系統(tǒng) 5 硅烷站 6 特種氣體管道輸送系統(tǒng) 7 建筑結構 8 電氣與防雷 9 生命安全系統(tǒng) 10 給水排水及消防 11 采暖通風與空氣調節(jié) 12 特種氣體系統(tǒng)工程施工 13 特種氣體系統(tǒng)驗收 附錄 本規(guī)范用詞說明 引用標準名錄 附:條文說明