一、術(shù)語(yǔ)及定義

　　1、靜電：物體表面過(guò)?；虿蛔愕撵o止的電荷．

　　2、靜電場(chǎng)：靜電在其周?chē)纬傻碾妶?chǎng)．

　　3、靜電放電：兩個(gè)具有不同靜電電位的物體，由于直接接觸或靜電場(chǎng)感應(yīng)引起兩物體間的靜電電荷的轉(zhuǎn)移．靜電電場(chǎng)的能量達(dá)到一定程度后，擊穿其間介質(zhì)而進(jìn)行放電的現(xiàn)象就是靜電放電．

　　4、靜電敏感度：元器件所能承受的靜電放電電壓．

　　5、靜電敏感器件：對(duì)靜電放電敏感的器件．

　　6、接地：電氣連接到能供給或接受大量電荷的物體，如大地、船等．

　　7、中和：利用異性電荷使靜電消失．

　　8、防靜電工作區(qū)：配備各種防靜電設(shè)備和器材，能限制靜電電位，具有明確的區(qū)域界限和專(zhuān)門(mén)標(biāo)記的適于從事靜電防護(hù)操作的工作場(chǎng)地．

　　二、靜電的產(chǎn)生

　　1、摩擦：在日常生活中，任何兩個(gè)不同材質(zhì)的物體接觸后再分離，即可產(chǎn)生靜電，而產(chǎn)生靜電的最普通方法，就是摩擦生電．材料的絕緣性越好，越容易摩擦生電．另外，任何兩種不同物質(zhì)的物體接觸后再分離，也能產(chǎn)生靜電．

　　2、感應(yīng)：針對(duì)導(dǎo)電材料而言，因電子能在它的表面自由流動(dòng)，如將其置于一電場(chǎng)中，由于同性相斥，異性相吸，正負(fù)離子就會(huì)轉(zhuǎn)移．

　　3、傳導(dǎo)：針對(duì)導(dǎo)電材料而言，因電子能在它的表面自由流動(dòng)，如與帶電物體接觸，將發(fā)生電荷轉(zhuǎn)移．

　　三、靜電對(duì)電子工業(yè)的影響

　　集成電路元器件的線路縮小，線路面積減小，耐壓降低，使得器件耐靜電沖擊能力的減弱，靜電電場(chǎng)（Static Electric Field）和靜電電流（ESDcurrent）成為這些高密度元器件的致命殺手．同時(shí)大量的塑料制品等高絕緣材料的普遍應(yīng)用，導(dǎo)致產(chǎn)生靜電的機(jī)會(huì)大增．日常生活中如走動(dòng)、空氣流動(dòng)、搬運(yùn)等都能產(chǎn)生靜電．人們一般認(rèn)為只有CMOS類(lèi)的晶片才對(duì)靜電敏感，實(shí)際上，集成度高的元器件電路都很敏感．

　　A、靜電對(duì)電子元件的影響：

　　1） 靜電吸附灰塵，改變線路間的阻抗，影響產(chǎn)品的功能與壽命．

　　2） 因電場(chǎng)或電流破壞元件的絕緣或?qū)w，使元件不能工作（完全破壞).

　　3）因瞬間的電場(chǎng)或電流產(chǎn)生的熱，使元件受傷，雖能工作，但壽命受損．

　　B、靜電損傷的特點(diǎn)：

　　1、隱蔽性——人體不能直接感知靜電，除非發(fā)生靜電放電；但發(fā)生靜電放電，人體也不一定能有電擊的感覺(jué)，這是因?yàn)槿梭w感知的靜電放電電壓為2-3KV．

　　2、潛伏性——有些電子元器件受到靜電損傷后性能沒(méi)有明顯的下降，但多次累加放電會(huì)給器件造成內(nèi)傷而形成隱患，而且增加了器件對(duì)靜電的敏感性，已產(chǎn)生的問(wèn)題并無(wú)任何方法可治愈．

　　3、隨機(jī)性——電子元件什么情況下會(huì)遭受到靜電破壞呢？可以這么說(shuō)，從一個(gè)元件生產(chǎn)后一直到它損壞以前所有的過(guò)程都受到靜電的威脅，而這些靜電的產(chǎn)生也具有隨機(jī)性．由于靜電的產(chǎn)生和放電都是瞬間發(fā)生的，極難預(yù)測(cè)和防護(hù)．

　　4、復(fù)雜性——靜電放電損傷元件工作，因電子產(chǎn)品的精細(xì)，微小的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)而費(fèi)時(shí)、費(fèi)事、費(fèi)錢(qián)，要求較復(fù)雜的技術(shù)往往需要使用掃描電鏡等精密儀器，即使如此有些靜電損傷現(xiàn)象也難以與其他原因造成的損傷加以區(qū)別，使人誤把靜電損傷失效當(dāng)作其它失效，這是對(duì)靜電放電損害未充分認(rèn)識(shí)之前，常常歸咎于早期失效或情況不明的失效，從而不自覺(jué)的掩蓋了失效的真正原因．

　　5、嚴(yán)重性——ESD問(wèn)題表面上看來(lái)只影響了制成品的用家，但實(shí)際上亦影響了各層次的制造商，如：保用費(fèi)、維修及公司的聲譽(yù)等等．

　　6、靜電在工業(yè)生產(chǎn)中造成的危害 靜電的產(chǎn)生在工業(yè)生產(chǎn)中是不可避免的，其造成的危害主要可歸結(jié)為以下兩種機(jī)理：