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本文件規(guī)定了晶體硅光伏電池用低壓化學氣相淀積設備(以下簡稱“LPCVD設備”)的術語和定義、工作環(huán)境、技術要求、基本性能、檢驗方法、交付檢驗以及標志、包裝、搬運和運輸、貯存。