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半導體設備隔振系統(tǒng)設計及技術要求

標 準 號： T/CI 334-2024
替代情況：
發(fā)布單位： 中國國際科技促進會
起草單位： 上海大學力學與工程科學學院、上海大學微電子學院、中國科學院上海技術 物理研究所、上海衛(wèi)星工程研究所
發(fā)布日期： 2024-04-18
實施日期： 2024-04-18
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2024年07月15日
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內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了半導體設備用隔振系統(tǒng)的設計程序、結構型式和技術要求。

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