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導(dǎo)航：安全管理網(wǎng)>> 安全標(biāo)準(zhǔn)>> 協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)>>正文

多層金屬薄膜層結(jié)構(gòu)測量分析方法 X射線光電子能譜

標(biāo) 準(zhǔn) 號： T/CSTM 01199-2024

替代情況：

發(fā)布單位：中關(guān)村材料試驗技術(shù)聯(lián)盟

起草單位：

發(fā)布日期： 2024-01-05

實施日期： 2024-04-05

點擊數(shù)：

更新日期： 2024年04月26日

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內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了X射線光電子能譜儀（XPS）深度剖析測量多層金屬薄膜層結(jié)構(gòu)的分析方法。

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Tag:金屬.協(xié)會標(biāo)準(zhǔn).薄膜層相關(guān)內(nèi)容

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