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半導體工業(yè)氮氧化物排放要求

標 準 號: T/CIECCPA 007-2024
替代情況:
發(fā)布單位: 中國工業(yè)節(jié)能與清潔生產協(xié)會
起草單位: 浙江芯科半導體有限公司、杭州慧翔電液技術開發(fā)有限公司、上海兄弟微電子 技術有限公司
發(fā)布日期: 2024-03-04
實施日期: 2024-03-08
點 擊 數(shù):
更新日期: 2024年04月19日
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內容摘要

本文件規(guī)定了半導體行業(yè)工業(yè)生產過程中產生的大氣污染物氮氧化物排放標準限值、檢測要求、達標判定的要求。


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