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半導(dǎo)體工業(yè)氮氧化物排放要求

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： T/CIECCPA 007-2024
替代情況：
發(fā)布單位： 中國工業(yè)節(jié)能與清潔生產(chǎn)協(xié)會(huì)
起草單位： 浙江芯科半導(dǎo)體有限公司、杭州慧翔電液技術(shù)開發(fā)有限公司、上海兄弟微電子 技術(shù)有限公司
發(fā)布日期： 2024-03-04
實(shí)施日期： 2024-03-08
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2024年04月19日
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內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了半導(dǎo)體行業(yè)工業(yè)生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的大氣污染物氮氧化物排放標(biāo)準(zhǔn)限值、檢測(cè)要求、達(dá)標(biāo)判定的要求。


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