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半導(dǎo)體車間金屬粉塵智能檢測分析系統(tǒng) (T_QGCML 3970-2024)

標(biāo) 準(zhǔn) 號： T/QGCML 3970-2024
替代情況：
發(fā)布單位： 全國城市工業(yè)品貿(mào)易中心聯(lián)合會
起草單位： 凌凱電子科技（湖北）有限公司、武漢羚動設(shè)備有限公司、湖北鴻陽企業(yè)服務(wù)有 限公司
發(fā)布日期： 2024-03-28
實施日期： 2024-04-11
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2024年04月02日
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內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了半導(dǎo)體車間金屬粉塵智能檢測分析系統(tǒng)的術(shù)語和定義、基本要求、運(yùn)行環(huán)境及功能、模塊功能、運(yùn)行測試。


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