本文件規(guī)定了氣相色譜質譜聯(lián)用法測定氯硅烷中碳雜質含量的方法。 ?
本文件適用于氯硅烷中碳雜質（包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷，統(tǒng)稱甲基氯硅烷）含量的測定，測定范圍 （質量分數(shù)）為 0.000 010%～0.10%。