本標準規(guī)定了物理氣相沉積TiN薄膜的技術要求。本標準適用于物理氣相沉積TiN薄膜，也適用于其他方法制備的TiN薄膜。本標準也適用于其他材料沉積層（TiC，TiCN，TiAlN等）。
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