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硅片直徑測(cè)量方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 14140-2009
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 洛陽(yáng)單晶硅有限責(zé)任公司
發(fā)布日期： 2009-11-30
實(shí)施日期： 2010-06-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2020年03月13日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用光學(xué)投影儀測(cè)量硅片直徑的方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于測(cè)量圓形硅片的直徑,可測(cè)最大直徑為300 mm。本標(biāo)準(zhǔn)不適用于測(cè)量硅片的不圓度。
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