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本標準第1部分規(guī)定了硅粉中硼含量的測定方法,適用于硅粉中硼含量的測定。測定范圍:0.00010%~0.01000%。 本標準第2部分規(guī)定了硅粉中磷含量的測定方法。 本標準適用硅粉中磷含量的測定。測定范圍:0.00050%~0.01500%。