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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅片的包裝。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅單晶拋光片、外延片、SOI等硅片的潔凈包裝、硅單晶研磨片(簡稱硅研磨片)包裝和太陽能電池用硅片包裝,使其在運(yùn)輸、貯存過程中避免再次沾污和破碎。