本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了可用于定量描述圓形半導(dǎo)體晶片表面缺陷的網(wǎng)格圖形。本標(biāo)準(zhǔn)適用于標(biāo)稱直徑100 mm～200 mm的硅片，也適用于其他半導(dǎo)體材料晶片。