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氮化鎵襯底片載流子濃度的測(cè)試 拉曼光譜法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 36705-2018
替代情況：
發(fā)布單位： 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所、蘇州納維科技有限公司、中關(guān)村天合寬禁帶半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟
發(fā)布日期： 2018-09-17
實(shí)施日期： 2019-06-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2019年01月17日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了利用拉曼光譜測(cè)試N型氮化鎵襯底片載流子濃度的方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于在藍(lán)寶石、碳化硅、硅、氮化鎵材料上生長(zhǎng)的N型氮化鎵襯底片載流子濃度的測(cè)試。

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