本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氧化銦錫（簡(jiǎn)稱ITO）靶材的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸與貯存、質(zhì)量證明書、訂貨單（或合同）內(nèi)容等。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于以99.99%金屬銦、錫為原料生產(chǎn)的氧化銦錫靶材，用于制作透明導(dǎo)電膜。