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電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材

標 準 號: YS/T 1025-2015
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位: 寧波江豐電子材料股份有限公司、有研億金新材料有限公司、北京天龍鎢鉬科技股份有限公司
發(fā)布日期: 2015-04-30
實施日期: 2015-10-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2018年05月10日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸存貯、訂貨單(或合同)等內(nèi)容。本標準適用于電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材,簡稱高純鎢及鎢合金靶。

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